Бор үчхлориди (BCl3)жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө кургак оюу жана химиялык буу чөктүрүү (CVD) процесстеринде кеңири колдонулган органикалык эмес кошулма. Ал бөлмө температурасында күчтүү, кескин жыты бар түссүз газ жана нымдуу абага сезгич, анткени ал туз кислотасын жана бор кислотасын пайда кылуу үчүн гидролизге учурайт.

Бор трихлоридинин колдонулушу

Жарым өткөргүчтөр тармагында,Бор трихлоридинегизинен алюминийди кургак оюу үчүн жана кремний пластиналарында P-тибиндеги аймактарды түзүү үчүн кошулма катары колдонулат. Ошондой эле, аны GaAs, Si, AlN сыяктуу материалдарды оюу үчүн жана айрым белгилүү бир колдонмолордо бор булагы катары колдонсо болот. Мындан тышкары, бор үч хлориди металл иштетүүдө, айнек өнөр жайында, химиялык анализде жана лабораториялык изилдөөлөрдө кеңири колдонулат.

Бор трихлоридинин коопсуздугу

Бор трихлоридикоррозиялык жана уулуу болуп саналат жана көзгө жана териге олуттуу зыян келтириши мүмкүн. Ал нымдуу абада гидролизденип, уулуу суутек хлорид газын бөлүп чыгарат. Ошондуктан, аны менен иштөөдө тиешелүү коопсуздук чараларын көрүү керек.Бор трихлоридикоргоочу кийимдерди, көз айнектерди жана дем алуу органдарын коргоочу каражаттарды кийүү жана жакшы желдетилген чөйрөдө иштөө.