Лазердик газ негизинен электроника өнөр жайында лазердик күйгүзүү жана литография газы үчүн колдонулат. Уюлдук телефондордун экрандарынын инновациясынан жана колдонуу чөйрөлөрүнүн кеңейишинен пайда алып, төмөнкү температурадагы поликремний рыногунун масштабы андан ары кеңейет жана лазердик күйгүзүү процесси TFTлердин иштешин бир топ жакшыртты. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн ArF эксимер лазеринде колдонулган неон, фтор жана аргон газдарынын арасында неон лазердик газ аралашмасынын 96% дан ашыгын түзөт. Жарым өткөргүч технологиясынын өркүндөтүлүшү менен эксимер лазерлерин колдонуу көбөйдү жана кош экспозиция технологиясынын киргизилиши ArF эксимер лазерлери тарабынан керектелүүчү неон газына болгон суроо-талаптын кескин өсүшүнө алып келди. Электрондук адистештирилген газдарды локалдаштырууну жайылтуудан пайда алып, ата мекендик өндүрүүчүлөр келечекте рыноктун өсүү мейкиндигин жакшыртышат.
Литография машинасы жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн негизги жабдуусу болуп саналат. Литография транзисторлордун өлчөмүн аныктайт. Литография өнөр жай чынжырынын координацияланган өнүгүшү литография машинасынын ачылышынын ачкычы болуп саналат. Фоторезист, фотолитография газы, фотомаска жана каптоо жана иштеп чыгуучу жабдуулар сыяктуу дал келген жарым өткөргүч материалдар жогорку технологиялык мазмунга ээ. Литография газы - бул литография машинасы терең ультрафиолет лазерин пайда кылган газ. Ар кандай литография газдары ар кандай толкун узундуктарындагы жарык булактарын чыгара алат жана алардын толкун узундугу литография машинасынын өзөктөрүнүн бири болгон литография машинасынын чечилишине түздөн-түз таасир этет. 2020-жылы литография машиналарынын жалпы дүйнөлүк сатылышы 413 бирдикти түзөт, анын ичинен ASML сатылышы 258 бирдикти, Canon сатылышы 122 бирдикти, ал эми Nikon сатылышы 33 бирдикти 8% түзөт.
Жарыяланган убактысы: 2021-жылдын 15-октябры
