Суутек хлориди- кескин жыты бар түссүз газ. Анын суудагы эритмеси туз кислотасы деп аталат, ал ошондой эле туз кислотасы деп да аталат. Суутек хлориди сууда жакшы эрийт. 0°C температурада 1 көлөм суу болжол менен 500 көлөм суутек хлоридин эрите алат.

Ал төмөнкү касиеттерге жана мүнөздөмөлөргө ээ:

1. Жогорку тазалык

Электрондук класстын тазалыгысуутек хлоридижарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессине эч кандай кошулмалар киргизилбешин камсыз кылуу үчүн, адатта, ppm же андан төмөн деңгээлде өтө жогору.

2. Инерттүүлүк

Бул химиялык жактан инерттүү газ, ал башка көптөгөн заттар менен реакцияга кирбейт, бул жарым өткөргүч материалдардын жана жабдуулардын булганышынын алдын алуу үчүн абдан маанилүү.

3. Жогорку туруктуулук

Электрондук баасуутек хлоридижарым өткөргүчтөрдү иштетүүнүн ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн жалпысынан туруктуу химияга ээ.

Жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө электрондук класстагы суутек хлоридинин негизги колдонулуштары төмөнкүлөрдү камтыйт:

1. Бетти тазалоо жана даярдоо

Натыйжалуу бет тазалоочу каражат катары, электрондук класстагысуутек хлоридиэпитаксиалдык катмардын же пленканын сапатын жана тазалыгын камсыз кылуу үчүн субстраттын бетинен оксиддерди жана кошулмаларды кетирүү үчүн колдонулат.

2. Эпитаксиалдык өсүүгө жардам

Эпитаксиалдык процессте беттик тазалоочу агент катары колдонулганда, ал эпитаксиалдык катмардын сапатын жакшыртууга, торчолордун дал келүүсүн жакшыртууга жана торчо кемчиликтеринин пайда болушун азайтууга жардам берет.

3. Субстратты алдын ала иштетүү

Жарым өткөргүч түзүлүштөрдү даярдоодон мурун, электрондук класстагысуутек хлоридиэпитаксиалдык катмар менен субстраттын ортосундагы адгезияны жакшыртуу үчүн туруктуу негиз түзүү максатында субстраттын бетин иштетүү үчүн колдонулушу мүмкүн.

4. Чөктүрүүчү жардамчы агент

Химиялык буу чөктүрүү (CVD) же физикалык буу чөктүрүү (PVD) процессинде, электрондук класстагы суутек хлориди жарым өткөргүч материалдарды чөктүрүү реакциясына катышуу үчүн газ фазасынын өткөрүүчү чөйрөсү катары колдонулушу мүмкүн.

5. Газ фазасындагы өткөргүч агент

Газ фазасындагы өткөргүч агент катары, материалдын чөкмө ылдамдыгын жана бирдейлигин жөнгө салууга жардам берүү үчүн реакция камерасына башка газ түрүндөгү прекурсорлор киргизилет.

Бул мүнөздөмөлөр электрондук классты түзөтсуутек хлоридижарым өткөргүч технологиясындагы маанилүү иштетүүчү агент, ал акыркы түзмөктүн иштешине жана ишенимдүүлүгүнө негизги таасир этет.

Жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө колдонуудан тышкары, электрондук класстагы суутек хлориди башка тармактарда, анын ичинде: жогорку тазалыктагы материалдарды даярдоодо, отун элементтеринде, жарым өткөргүч материалдарды өстүрүүдө, буу фазасындагы литографияда, материалдарды талдоодо, химиялык изилдөөлөрдө ар кандай колдонулушу мүмкүн.

Жалпысынан алганда, электрондук класссуутек хлоридижарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөн тышкары кеңири колдонулуучу ар тараптуу, жогорку тазалыктагы газ.