Суутек хлоридиачуу жыты бар түссүз газ. Анын суудагы эритмеси туз кислотасы деп да аталат. Суутек хлориди сууда абдан эрийт. 0°С температурада 1 көлөм суу 500 көлөмгө жакын хлордуу суутекти эрите алат.

Ал төмөнкү касиеттерге жана өзгөчөлүктөргө ээ:

1. Жогорку тазалык

Электрондук класстын тазалыгысуутек хлоридижарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессине эч кандай аралашмалар кирбеши үчүн өтө жогору, адатта промилле же андан төмөн деңгээлде.

2. инерттүүлүк

Бул жарым өткөргүч материалдардын жана жабдуулардын булганышын алдын алуу үчүн өтө маанилүү болгон көптөгөн башка заттар менен реакцияга кирбеген химиялык инерттүү газ.

3. Жогорку туруктуулук

Электрондук класссуутек хлоридиишенимдүү жарым өткөргүч иштетүүнү камсыз кылуу үчүн жалпысынан туруктуу химияга ээ.

жарым өткөргүч кайра иштетүү, электрондук класс суутек хлорид негизги колдонмолорду камтыйт:

1. Бетти тазалоо жана даярдоо

Натыйжалуу бет тазалоочу катары, электрондук класссуутек хлоридиэпитаксиалдык катмардын же пленканын сапатын жана тазалыгын камсыз кылуу үчүн субстраттын бетинен оксиддерди жана кирлерди жок кылуу үчүн колдонулат.

2.Эпитаксиалдык өсүүгө жардам

Эпитаксиалдык процессте беттик тазалоочу агент катары колдонулат, ал эпитаксиалдык катмардын сапатын жакшыртууга, решетканын дал келүүсүн жакшыртууга жана тор кемтиктеринин пайда болушун азайтууга жардам берет.

3. Субстратты алдын ала тазалоо

Жарым өткөргүч приборлорду даярдоо алдында, электрондук сортсуутек хлоридиэпитаксиалдык катмар менен субстраттын ортосундагы адгезияны жакшыртуу үчүн туруктуу негиз түзүү үчүн субстраттын бетин дарылоо үчүн колдонсо болот.

4. Депозиттик жардамчы агент

Химиялык бууларды жайгаштыруу (CVD) же физикалык буу коюу (PVD) процессинде электрондук класстагы суутек хлориди жарым өткөргүч материалдардын катмарлануу реакциясына катышуу үчүн газ фазасын өткөрүү чөйрөсү катары колдонулушу мүмкүн.

5. Газ фазасын өткөрүүчү

Газ фазасын өткөрүп берүүчү агент катары реакция камерасына башка газ түрүндөгү прекурсорлор киргизилет, бул материалдын чөкүү ылдамдыгын жана бирдейлигин жөнгө салууга жардам берет.

Бул мүнөздөмөлөр электрондук классты түзөтсуутек хлоридижарым өткөргүчтөр технологиясында маанилүү кайра иштетүү агенти, акыркы түзүлүштүн иштешине жана ишенимдүүлүгүнө негизги таасирин тийгизет.

Жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө колдонуудан тышкары, электрондук класстагы суутек хлориди башка тармактарда, анын ичинде: жогорку тазалыктагы материалдарды даярдоо, отун клеткалары, жарым өткөргүч материалдын өсүшү, буу фазасы литографиясы, материалды талдоо, химиялык изилдөө.

Жалпысынан алганда, электрондук баасуутек хлоридижарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөн тышкары кеңири чөйрөгө ээ болгон ар тараптуу, жогорку таза газ.