2018-жылы интегралдык микросхемалардын дүйнөлүк электрондук газ рыногу 4,512 миллиард АКШ долларына жетип, жыл сайын 16% өскөн. Жарым өткөргүчтөр үчүн электрондук атайын газ өнөр жайынын жогорку өсүү темпи жана рыноктун чоң көлөмү электрондук атайын газды ички алмаштыруу планын тездетти!
Электрон газы деген эмне?
Электрондук газ жарым өткөргүчтөрдү, жалпак панелдүү дисплейлерди, жарык чыгаруучу диоддорду, күн батареяларын жана башка электрондук продуктыларды өндүрүүдө колдонулган негизги булак материалды билдирет жана тазалоодо, оюуда, пленка түзүүдө, легирлөөдө жана башка процесстерде кеңири колдонулат. Электрондук газдын негизги колдонуу чөйрөлөрүнө электроника өнөр жайы, күн батареялары, мобилдик байланыш, унаа навигациясы жана унаа аудио жана видео системалары, аэрокосмос, аскердик өнөр жай жана башка көптөгөн тармактар кирет.
Электрондук атайын газды өзүнүн химиялык курамы боюнча жети категорияга бөлүүгө болот: кремний, мышьяк, фосфор, бор, металл гидриди, галогенид жана металл алкоксиди. Интегралдык микросхемалардагы ар кандай колдонуу ыкмаларына ылайык, аны легирлөөчү газ, эпитаксия газы, ион имплантациялоочу газ, жарык чыгаруучу диод газы, оюучу газ, химиялык буу чөктүрүүчү газ жана баланстык газ деп бөлүүгө болот. Жарым өткөргүчтөр өнөр жайында 110дон ашык атайын газ бирдиги колдонулат, алардын 30дан ашыгы кеңири колдонулат.
Жалпысынан алганда, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү өнөр жайы газдарды эки түргө бөлөт: кадимки газдар жана атайын газдар. Алардын арасында кеңири колдонулган газ борборлоштурулган камсыздоону билдирет жана N2, H2, O2, Ar, He ж.б. сыяктуу көп газды колдонот. Атайын газ жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде колдонулган кээ бир химиялык газдарды билдирет, мисалы, кеңейтүү, иондук инъекция, аралаштыруу, жуу жана маска түзүү, бул биз азыр электрондук атайын газ деп атаган жогорку тазалыктагы SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 ж.б.
Жарым өткөргүч өнөр жайынын бүтүндөй өндүрүш процессинде, чиптин өсүшүнөн баштап, түзмөктүн акыркы таңгагына чейин, дээрлик ар бир байланыш электрондук атайын газдан жана колдонулган газдын ар түрдүүлүгүнөн жана жогорку сапат талаптарынан ажырагыс, ошондуктан электрондук газ жарым өткөргүч материалдарга ээ. "Тамак-аш".
Акыркы жылдары Кытайдын жарым өткөргүчтөр жана дисплей панелдери сыяктуу негизги электрондук компоненттеринин жаңы өндүрүш кубаттуулугу көбөйдү жана электрондук химиялык материалдарды импорттоону алмаштырууга суроо-талап жогору. Жарым өткөргүчтөр тармагында электрондук газдардын орду барган сайын көрүнүктүү болуп баратат. Ата мекендик электрондук газ тармагы тездик менен өсөт.
Электрондук атайын газдын тазалыкка болгон талаптары өтө жогору, анткени эгерде тазалык талаптарга жооп бербесе, электрондук атайын газдагы суу буусу жана кычкылтек сыяктуу аралашма топтору жарым өткөргүчтүн бетинде оңой эле кычкыл пленкасын пайда кылат, бул электрондук шаймандардын иштөө мөөнөтүнө таасир этет, ал эми электрондук атайын газдын курамында аралашмалардын бөлүкчөлөрү жарым өткөргүчтөрдүн кыска туташуусуна жана чынжырдын бузулушуна алып келиши мүмкүн. Тазалыктын жакшырышы электрондук шаймандарды өндүрүүнүн түшүмдүүлүгүндө жана иштешинде маанилүү ролду ойнойт деп айтууга болот.
Жарым өткөргүчтөр өнөр жайынын тынымсыз өнүгүшү менен чип өндүрүү процесси жакшырып, азыр ал 5 нмге жетти, бул Мур мыйзамынын чегине жакындап калды, бул адамдын чачынын диаметринин жыйырмадан бир бөлүгүнө барабар (болжол менен 0,1 мм). Ошондуктан, бул жарым өткөргүчтөр чыгарган электрондук атайын газдын тазалыгына дагы жогорку талаптарды коёт.
Жарыяланган убактысы: 2021-жылдын 15-декабры
