2018-жылы интегралдык микросхемалардын дүйнөлүк электрондук газ рыногу 4,512 миллиард АКШ долларына жетип, былтыркыга салыштырмалуу 16% га өскөн. Жарым өткөргүчтөр үчүн электрондук атайын газ өнөр жайынын жогорку өсүү темпи жана рыноктун чоң көлөмү электрондук атайын газдын ички алмаштыруу планын тездетти!
Электрондук газ деген эмне?
Электрондук газ жарым өткөргүчтөрдү, жалпак панелдик дисплейлерди, жарык берүүчү диоддорду, күн батареяларын жана башка электрондук буюмдарды өндүрүүдө колдонулган негизги булак материалына кирет жана тазалоо, оюу, пленканы түзүү, допинг жана башка процесстерде кеңири колдонулат. Электрондук газдын негизги колдонуу чөйрөлөрүнө электроника өнөр жайы, күн батареялары, мобилдик байланыш, унаа навигациясы жана унаа аудио жана видео системалары, аэрокосмостук, аскердик өнөр жай жана башка көптөгөн тармактар кирет.
Электрондук атайын газды өзүнүн химиялык курамы боюнча жети категорияга бөлүүгө болот: кремний, мышьяк, фосфор, бор, металл гидриди, галогенид жана металл алкоксиди. Интегралдык микросхемаларда ар кандай колдонуу ыкмаларына ылайык, ал допинг газына, эпитаксиялык газга, иондук имплантация газына, жарык берүүчү диод газына, тешүүчү газга, химиялык буулуу газга жана баланстык газга бөлүнөт. Жарым өткөргүч өнөр жайында 110дон ашык бирдик атайын газдар колдонулат, алардын 30дан ашыгы көбүнчө колдонулат.
Жалпысынан, жарым өткөргүч өндүрүш өнөр жайы газдарды эки түргө бөлөт: жалпы газдар жана атайын газдар. Алардын арасында кеңири колдонулган газ борборлоштурулган жабдууну билдирет жана N2, H2, O2, Ar, He, ж. узартуу, ион инъекциясы, аралаштыруу, жуу жана масканы түзүү, муну биз азыр электрондук атайын газ деп атайбыз, мисалы, жогорку тазалыктагы SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 ж.б.
жарым өткөргүч өнөр жайынын бүт өндүрүш процессинде, чип өсүш акыркы аппараттын кутулоо үчүн, дээрлик ар бир шилтеме электрондук атайын газ ажырагыс болуп саналат, жана газ колдонулган ар түрдүү жана жогорку сапаттагы талаптар, ошондуктан электрондук газ жарым өткөргүч материалдар бар. "Тамак".
Акыркы жылдары, жарым өткөргүчтөр жана дисплей панелдери сыяктуу Кытайдын негизги электрондук компоненттери жаңы өндүрүштүк кубаттуулукта көбөйдү жана электрондук химиялык материалдарды импорттоо үчүн күчтүү суроо-талап бар. Жарым өткөргүч өндүрүшүндө электрондук газдардын орду барган сайын белгилүү болуп калды. Ата мекендик электрондук газ өнөр жайы тездик менен өсүүгө түрткү берет.
Электрондук атайын газдын тазалыкка өтө жогорку талаптары бар, анткени тазалык талапка жооп бербесе, электрондук атайын газдагы суу буусу жана кычкылтек сыяктуу аралашма топтору жарым өткөргүчтүн бетинде оңой эле оксид пленкасын пайда кылат, бул электрондук аппараттардын кызмат мөөнөтү, жана электрондук атайын газ камтыган кирлердин бөлүкчөлөрү жарым өткөргүчтүн кыска туташуусуна жана чынжырдын бузулушуна алып келиши мүмкүн. Бул тазалыкты жакшыртуу электрондук аппарат өндүрүшүнүн түшүмдүүлүгүн жана аткаруу маанилүү ролду ойнойт деп айтууга болот.
Жарым өткөргүч өнөр жайынын тынымсыз өнүгүүсү менен чипти өндүрүү процесси өркүндөтүүнү улантууда жана азыр ал 5 нмге жетти, бул Мур мыйзамынын чегине жакындап калды, бул адамдын чачынын диаметринин жыйырмадан бирине барабар ( болжол менен 0,1 мм). Демек, бул да жарым өткөргүчтөр тарабынан өндүрүлгөн электрондук атайын газдын тазалыгына жогорку талаптарды коёт.
Посттун убактысы: 2021-жылдын 15-декабрына чейин
