Күкүрт гексоолуорид - бул эң сонун изолятордук касиеттерге, трансформаторлор, трансформаторлор, трансформаторлор, трансформаторлор, трансформаторлор, трансформаторлор ж.б. Электрондук деңгээлдеги жогорку тазалык күкүрт гексаалеорид - бул микроэлектроника технологиясы жаатында кеңири колдонулган идеалдуу электрондук этчант. Бүгүнкү күндө НИУ РИИДЕ Атайын газ редактору Юейю силикон нтициидде күкүрт гексафлуоридди киргизет жана ар кандай параметрлердин таасири киргизилет.
SF6 плазма процесси, анын ичинде плазма бийликти, анын газынын косметрин өзгөртүү жана планманын радиациясын кошуу жана плазма радиациясын кошуп, спектрометр SF6 / SF6 / HE / O2 плазмасынын концентрациялануусунун концентрациялангандарын талдайт Синкстин жана плазма түрлөрүнүн концентрациясынын өзгөрүүсүнүн ортосундагы байланышты жана мамилени изилдеген.
Изилдөөлөр көрсөткөндөй, плазма күчү көбөйгөндө, баскычтын жогорулашы байкалат; Эгерде Плазмада SF6 агымынын агымы көбөйсө, анда атомдук концентрацияланат жана жугуштуу ылдамдык менен оңдолот. Мындан тышкары, болжолдонгон стационалдык газды коштогон соң, ал эми ар кандай o2 / SF6 агымынын коэффициенти жогорулагандыктан, бул үч бөлүктөн турган механизмдер төмөн, ал эми oo2 / SF6 агымынын коэффициенти өтө эле кичинекей, oo2 ood'ден бир азга чейин кошулганга жардам берет. (2) O2 / SF6 агымынын коэффициенти 1-орунга ээ болгонго чейин 0,2ден жогору болгондо, SF6 F Atoms формаларына ылайык, эгиндеринин формасы үчүн эң жогорку деңгээлге чейин эң жогорку деңгээлде; Бирок, ошол эле учурда, Плазмадагы атомдор дагы көбөйүүдө жана Sinx Film бетинде Siox же Sinxo (YX) пайда болуу оңой, ал эми атомдор канчалык көп болсо, ал канчалык кыйынчылыкка кабылат, е атомдору реакцияга алып келет. Ошондуктан, oo2 / SF6 коэффициенти 1ге жакын болгондо, жайлоонун деңгээли төмөн түшөт. О2дин чоң өсүшүнө байланыштуу, ажыратылган F атомдору O2 жана форма менен кагылышып, ал F атомдорунун концентрациясын азайтат, натыйжада эфирдин ылдамдыгынын төмөндөшүнө алып келет. O2 кошулган учурда O2 / SF6 агымынын катышы 0,2 жана 0,8кө чейин, жана эң мыкты жугуштуу ылдамдыкка ээ болот.
Пост убактысы: дек-06-2021
