Вольфть гексоолуорид (WF6) вафли аркылуу металл өз ара байланышын толтуруп, катмарлардын ортосундагы металл өз ара байланышын түзүп, металл менен өз ара байланышын түзүүчү.
Адегенде плазма жөнүндө сүйлөшөлү. Плазма - бул заттын негизинен акысыз электрондордон жана заряддалган иондордун курамына кирет. Ал ааламда кеңири жайылып, көбүнчө заттын төртүнчү абалы катары каралат. Ал "Плазма" деп да аталган плазма мамлекети деп аталат. Плазмада электр өткөргүчтүккө ээ жана электромагниттик талаа менен күчтүү кошкучсуз натыйжа берет. Бул жарым-жартылай иондоштурулган газ, электрондордон, иондордон, бош радикалдардан, бейтарап бөлүкчөлөрдөн жана фотондордон турат. Плазма өзү - бул физикалык жана химиялык жигердүү бөлүкчөлөрдү камтыган электрдик бейтарап аралашма.
Эң жогорку энергия иш-аракетинин астында, молекула Ван дер Ваалс күчүн, химиялык байланыш күч-кубатын жана цуломдук күчтү жеңип, бүтүндөй бейтарап электр энергиясын берет. Ошол эле учурда, сыртынан берилген жогорку энергия жогорудагы үч күчтү жеңет. Функция, электрондор жана иондор Магниттик талаа моделин, мисалы, жарым өткөргүч желектин, CVD процессин, ПВд жана эмдөө процесси сыяктуу магниттик талаа модуляциясын колдонсо болот.
Жогорку энергия деген эмне? Теорацияда, жогорку температура жана жогорку жыштык RF колдонулушу мүмкүн. Жалпысынан сүйлөө, жогорку температура жетишсиз. Бул температура талабы өтө жогору жана күн температурасына жакын болушу мүмкүн. Бул процессте жетишүү мүмкүн эмес. Ошондуктан, бул тармак, адатта, ага жетүү үчүн жогорку жыштык RF колдонот. Плазма RF 13мз + бийикдей алат +.
Вольфрам Гексоолуорид электр талаасынын иш-аракеттери астында, андан кийин магнит талаасы тарабынан буу сакталган. W атомдору кышкы казандарга окшош жана тартылуу күчүнө кирген жерге кулап түшөт. Акырындык менен атомдор тешиктер аркылуу сакталат, акыры металл өз ара байланышын түзүү үчүн тешиктер аркылуу толтурулат. Андан тышкары, тешиктер аркылуу W атомдорун сактоого кошумча, алар дагы вафли бетине сакталат? Ооба, сөзсүз. Жалпысынан сүйлөп, сиз W-CMM процессин колдонсоңуз болот, бул биз механикалык майдалоочу процессин алып салууга чакырабыз. Шыпыргычты оор кардан кийин шыпырып салууга окшош. Жерде кар түшүп кетти, бирок жердин тешигиндеги кар болуп калат. Ылдый, болжол менен бирдей.
Пост убактысы: 24-2021
