Көмүртек тетрафториди (CF4)

Кыска сүрөттөмө:

Көмүртек тетрафторид, ошондой эле тетрафторметан катары белгилүү, нормалдуу температурада жана басымда түссүз газ, сууда эрибейт.CF4 газы азыркы учурда микроэлектроника тармагында эң кеңири колдонулган плазмалык оюу газы болуп саналат.Ал ошондой эле лазердик газ, криогендик муздаткыч, эриткич, майлоочу, изоляциялоочу материал жана инфракызыл детектордук түтүктөр үчүн муздаткыч катары колдонулат.


Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Техникалык параметрлер

Спецификация 99.999%
Кычкылтек+Аргон ≤1ppm
азот ≤4 промилле
Нымдуулук (H2O) ≤3 промилле
HF ≤0,1 промилле
CO ≤0,1 промилле
CO2 ≤1 промилле
SF6 ≤1 промилле
Галокарбиндер ≤1 промилле
Жалпы аралашмалар ≤10 промилле

Көмүртек тетрафторид – CF4 химиялык формуласы бар галогендүү углеводород.Бул галогендүү углеводород, галогендүү метан, перфторкарбон же органикалык эмес кошулма катары каралышы мүмкүн.Көмүртек тетрафториди – түссүз жана жытсыз газ, сууда эрибейт, бензолдо жана хлороформдо жакшы эрийт.Кадимки температурада жана басымда туруктуу, күчтүү оксиданттардан, күйүүчү же күйүүчү материалдардан алыс болуңуз.Күйбөй турган газ, жогорку жылуулукка кабылганда идиштин ички басымы жогорулап, жарылуу жана жарылуу коркунучу бар.Ал химиялык жактан туруктуу жана күйбөйт.Бөлмө температурасында суюк аммиак-натрий металл реагенти гана иштей алат.Көмүртек тетрафториди - бул парниктик эффектти пайда кылган газ.Ал абдан туруктуу, атмосферада көпкө тура алат жана абдан күчтүү парник газы болуп саналат.Көмүртек тетрафториди ар кандай интегралдык микросхемалардын плазмадан оюу процессинде колдонулат.Ал лазердик газ катары да колдонулат жана төмөнкү температурадагы муздаткычтарда, эриткичтерде, майлоочу материалдарда, изоляциялык материалдарда жана инфракызыл детекторлор үчүн муздаткычтарда колдонулат.Бул микроэлектроника тармагында эң көп колдонулуучу плазма газы.Бул тетрафторметандын жогорку тазалыктагы газынын жана тетрафторметандын жогорку тазалыктагы газынын жана жогорку тазалыктагы кычкылтектин аралашмасы.Ал кремнийде, кремний диоксидинде, кремний нитридинде жана фосфосиликат айнегинде кеңири колдонулушу мүмкүн.Вольфрам жана вольфрам сыяктуу жука пленкалуу материалдардын оюу электрондук шаймандардын бетин тазалоодо, күн батареяларын өндүрүүдө, лазердик технологияда, төмөн температурадагы муздаткычта, агып чыгууну текшерүүдө жана басма микросхемалардын өндүрүшүндө жуучу каражатта кеңири колдонулат.Интегралдык микросхемалар үчүн төмөнкү температурадагы муздаткыч жана плазмадагы кургак оюу технологиясы катары колдонулат.Сактоо боюнча сактык чаралары: Салкын, желдетилген күйбөгөн газ кампасында сактаңыз.Оттон жана жылуулук булактарынан алыс болуңуз.Сактоо температурасы 30°С ашпоого тийиш.Ал оңой (күйүүчү) күйүүчү заттардан жана кычкылданткычтардан өзүнчө сакталышы керек жана аралаш сактоодон алыс болушу керек.Сактоочу жай агып кеткен авариялык тазалоочу жабдуулар менен жабдылышы керек.

Колдонмо:

① Муздаткыч:

Тетрафторметан кээде төмөнкү температурадагы муздаткыч катары колдонулат.

  fdrgr Грег

② Оюту:

Ал электроника микрофабрикасында жалгыз же кычкылтек менен бирге кремний, кремний диоксиди жана кремний нитриди үчүн плазма стимул катары колдонулат.

dsgre rgg

Кадимки пакет:

Продукт Көмүртек тетрафторидиCF4
Пакеттин өлчөмү 40 литр цилиндр 50 литр цилиндр  
Толтуруу таза Салмагы/Цил 30кг 38кг  
САНЫ 20'Контейнерге жүктөлгөн 250 Cyls 250 Cyls
Жалпы таза Салмагы 7,5 тонна 9,5 тонна
Цилиндрдин салмагы 50кг 55кг
Клапан CGA 580

Артыкчылыгы:

①Жогорку тазалык, акыркы жабдуулар;

②ISO күбөлүк өндүрүүчүсү;

③Fast жеткирүү;

④Ар бир кадамда сапатты көзөмөлдөө үчүн он-лайн талдоо системасы;

⑤Жогорку талап жана толтуруунун алдында цилиндрди иштетүү үчүн кылдат процесс;


  • Мурунку:
  • Кийинки:

  • Бул жерге билдирүүңүздү жазып, бизге жөнөтүңүз