Ультра жогорку тазалыгы (UHP) газдар - семикостюор индустриясынын калдыктары. Дүйнөлүк камсыздоо чынжырына болуп көрбөгөндөй суроо-талапка жана үзгүлтүккө учураган, ультра жогорку басымдын газынын баасын басаңдатуу Үлүктүн жарым-жартылай өндүрүүчүлөр үчүн UHP газынын тазалыгын камсыз кыла алышат.

Ультра жогорку тазалыгы (UHP) газдарында заманбап жарым өткөргүч өндүрүшүндө өтө маанилүү

UHP газынын негизги колдонмолорунун бири - үптөө газы жарым өткөргүч компоненттеринин айланасындагы коргоочу атмосфераны берүү үчүн колдонулат, ошондо аларды атмосферада нымдуулуктун, кычкылтек жана башка булгоочу заттарды нымдуулуктун, кычкылтектин зыяндуу таасиринен коргойт. Бирок, инерттөө - бул газдар жарым өткөргүч индустриясында окуган ар кандай функциялардын бири гана. Башталгыч плазма газдарынан, реактивдүү газдарына ылайык, ультра жогорку басымдагы газдар ар кандай максаттар үчүн колдонулат жана жарым өткөргүч менен камсыздоо тизмегинин жүрүшүндө колдонулат.

Жарым өткөргүч өнөр жайындагы "өзөктүк" газдарынын айрымдары киретАзот(жалпы тазалоо жана инерттик газ катары колдонулат),Аргон(биринчиси, биринчиси, жөө жүргүнчү жана чөгүү реакцияларына),гелий(инерттүү газ катары атайын жылуулук берүү касиеттери менен колдонулат) жанасуутек(Анализ, чөкмө, эпицация, эпицей жана плазма тазалоодо бир нече ролду ойнойт).

Жарым өткөргүч технологиясы өнүгүп, өзгөргөн сайын, өндүрүш процессинде колдонулган газдар бар. Бүгүнкү күндө семикрондор өндүрүү, өндүрүмдүүлүктү өндүрүү, мисалы, асыл газдардан ар кандай газдарды колдонушатКриптонжананеоназот трифлуорид (NF 3) сыяктуу реактивдүү түрлөргө (NF 3) жана вольфлоорид (WF 6).

Тазалыкка болгон суроо-талап

Биринчи коммерциялык микрочинанын биринчи ойлоп табылышы, дүйнөлүк жарым өткөргүч түзмөктөрүнүн ишинин аткарылышында таң калыштуу чоң өсүшкө күбө болгон. Акыркы беш жылдын ичинде "Өлчөмүн ченинин архитектурасынын" архитектурасынын негизги өлчөмдөрүн азайтуу жолу менен, ушул мейкиндикке көбүрөөк транзисторлорду кысуу үчүн учурдагы чип архитектурасынын негизги өлчөмүн азайтуу жолу менен өттү. Мындан тышкары, жаңы чип архитектураларын өнүктүрүү жана кесүү-чет -ген материалдарды колдонуу түзмөктүн көрсөткүчтөрүндө секирип түшкөн.

Бүгүнкү күндө кыскартылган жарым өткөргүчтөрдүн критикалык өлчөмдөрү азыркыга чейин, ал түзмөктүн ишин жакшыртууга көнбөс жол жок. Анын ордуна, жарым өткөргүч изилдөөчүлөрү роман материалдары жана 3D чип архитектуралары түрүндөгү чечимдерди издеп жатышат.

Тазалоочу шаймандардын ондогон жылдар бою, эски жарым өткөргүч шаймандары эски микрочиптерге караганда алда канча күчтүү, бирок алар дагы этият болушат. 300mm Вифнин фабрика технологиясын пайда болгон Advent, жарым өткөргүч өндүрүү үчүн талап кылынган табыштаманын деңгээлин жогорулатат. Өндүрүш процесстин (айрыкча сейрек кездешүүчү же инерттүү газдар) бир аз булгануу) катастрофалык жабдыктын иштебей калышына алып келиши мүмкүн - ошондуктан газ тазалыгы азыр болуп көрбөгөндөй маанилүү.

Типтүү жарым өткөргүч жасалгаланган фоток, ультра жогорку тазалык газ үчүн - кремнийден кийинки эң чоң материалдык чыгым. Бул чыгымдар жарым өткөргүчтөргө суроо-талап жаңы бийиктиктерге карата чыгууну талап кылат деп күтүлүүдө. Европадагы окуялар ультра жогорку басым табигый газ рыногуна кошумча үзгүлтүккө учурады. Украина дүйнөдөгү эң жогорку тазалыктын эң ири экспортерлорунун биринеонбелгилери; Россиянын басып алуусу, сейрек кездешүүчү газды камсыз кылуу дегенди билдирет. Бул өз кезегинде, мисалы, башка асыл газдардын баасына жана андан жогору бааларга алып келетКриптонжанаxenon.