Ультра жогорку тазалыктагы (UHP) газдар жарым өткөргүч өнөр жайынын кан тамыры болуп саналат.Дүйнөлүк жеткирүү чынжырындагы болуп көрбөгөндөй суроо-талап жана үзгүлтүктөр ультра жогорку басымдагы газдын баасын көтөргөндүктөн, жаңы жарым өткөргүчтөрдү долбоорлоо жана өндүрүш практикасы булганууну көзөмөлдөөнүн зарыл деңгээлин жогорулатып жатат.Жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр үчүн UHP газынын тазалыгын камсыздай алуу болуп көрбөгөндөй маанилүү.

Ультра жогорку тазалыктагы (UHP) газдар заманбап жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө абдан маанилүү

UHP газынын негизги колдонмолорунун бири инертизация болуп саналат: UHP газы жарым өткөргүч компоненттеринин айланасында коргоочу атмосфераны камсыз кылуу үчүн колдонулат, ошону менен аларды атмосферадагы нымдуулуктун, кычкылтектин жана башка булгоочу заттардын зыяндуу таасиринен коргойт.Бирок, инертизация жарым өткөргүч өнөр жайында газдар аткарган ар кандай функциялардын бири гана.Негизги плазма газдарынан тартып стихиялоодо жана күйдүрүүдө колдонулган реактивдүү газдарга чейин, ультра жогорку басымдагы газдар ар кандай максаттарда колдонулат жана жарым өткөргүчтөрдү жеткирүү чынжырында абдан маанилүү.

Жарым өткөргүч өнөр жайындагы "негизги" газдардын айрымдарына киретазот(жалпы тазалоо жана инерттүү газ катары колдонулат),аргон(оюштуруу жана туташтыруу реакцияларында негизги плазма газы катары колдонулат),гелий(өзгөчө жылуулук өткөрүүчү касиетке ээ инерттүү газ катары колдонулат) жанасуутек(тамырлоодо, чөктүрүүдө, эпитаксияда жана плазманы тазалоодо бир нече ролду ойнойт).

Жарым өткөргүчтөрдүн технологиясы өнүгүп, өзгөргөндүктөн, өндүрүш процессинде колдонулган газдар да өзгөрдү.Бүгүнкү күндө жарым өткөргүчтөрдү чыгаруучу заводдор газдардын кеңири спектрин, мисалы, асыл газдарды колдонушаткриптонжананеоназот трифториди (NF 3) жана вольфрам гексафториди (WF 6) сыяктуу реактивдүү түрлөргө.

Тазалыкка суроо-талап өсүүдө

Биринчи коммерциялык микрочип ойлоп табылгандан бери, дүйнө жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн иштешинин укмуштуудай дээрлик экспоненциалдык өсүшүнө күбө болду.Акыркы беш жылдын ичинде мындай натыйжалуулукту жакшыртууга жетишүүнүн эң ишенимдүү жолдорунун бири "өлчөмдү масштабдоо" болду: берилген мейкиндикке көбүрөөк транзисторлорду кысуу үчүн учурдагы чип архитектурасынын негизги өлчөмдөрүн азайтуу.Мындан тышкары, жаңы чип архитектураларын иштеп чыгуу жана алдыңкы материалдарды колдонуу аппараттын иштешинде секириктерди жаратты.

Бүгүнкү күндө эң алдыңкы жарым өткөргүчтөрдүн критикалык өлчөмдөрү ушунчалык кичинекей болгондуктан, өлчөмдү масштабдоо аппараттын иштөөсүн жакшыртуунун ылайыктуу жолу болбой калды.Анын ордуна, жарым өткөргүч изилдөөчүлөр роман материалдары жана 3D чип архитектура түрүндө чечимдерди издеп жатышат.

Ондогон жылдар бою талыкпай кайра конструкциялоо бүгүнкү жарым өткөргүч түзүлүштөр мурунку микрочиптерге караганда алда канча күчтүү экенин билдирет, бирок алар дагы морт.300 мм пластинкаларды жасоо технологиясынын пайда болушу жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн зарыл болгон аралашмаларды көзөмөлдөө деңгээлин жогорулатты.Өндүрүш процессиндеги кичинекей булгануу (өзгөчө сейрек кездешүүчү же инерттүү газдар) жабдуулардын катастрофалык бузулушуна алып келиши мүмкүн, ошондуктан газдын тазалыгы азыр болуп көрбөгөндөй маанилүү.

Кадимки жарым өткөргүчтөрдү чыгаруучу завод үчүн ультра жогорку тазалыктагы газ кремнийден кийинки эң чоң материалдык чыгым болуп саналат.Бул чыгашалар жарым өткөргүчтөргө болгон суроо-талап жаңы бийиктиктерге көтөрүлгөн сайын көбөйөт деп күтүлүүдө.Европадагы окуялар чыңалган ультра жогорку басымдагы жаратылыш газ рыногунда кошумча үзгүлтүккө алып келди.Украина жогорку тазалыктагы дүйнөдөгү эң ири экспортерлордун биринеонбелгилер;Орусиянын баскынчылыгы сейрек кездешүүчү газдын берилиши чектелип жатканын билдирет.Бул өз кезегинде башка асыл газдардын жетишсиздигине жана кымбатташына алып келдикриптонжанаксенон.