Эпитаксиалдык (өсүү)Аралаш Gas

Жарым өткөргүч өнөр жайында кылдаттык менен тандалып алынган субстраттын үстүнө химиялык буу туташтыруу жолу менен материалдын бир же бир нече катмарын өстүрүү үчүн колдонулган газ эпитаксиалдык газ деп аталат.

Көбүнчө колдонулган кремний эпитаксиалдык газдарына дихлоросилан, кремний тетрахлориди жанасилан. Негизинен кремнийдин эпитаксиалдык катмары, кремний кычкылынын пленкасы, кремний нитридинин пленкасы, күн клеткалары жана башка фоторецепторлор үчүн аморфтук кремний пленкасы ж.б. үчүн колдонулат. Эпитаксия – бул бир кристаллдык материалдын субстраттын бетине жайгаштырылышы жана өстүрүлүшү.

Химиялык бууларды жайгаштыруу (CVD) аралаш газ

CVD - бул учуучу кошулмаларды колдонуу менен газ фазасынын химиялык реакциялары аркылуу белгилүү элементтерди жана бирикмелерди коюу ыкмасы, б.а., газ фазасынын химиялык реакцияларын колдонуу менен пленка түзүү ыкмасы. Түзүлгөн пленканын түрүнө жараша химиялык буу катмары (CVD) газы да ар кандай болот.

ДопингАралаш газ

Жарым өткөргүчтүү приборлорду жана интегралдык микросхемаларды өндүрүүдө материалдарга керектүү өткөргүчтүк түрүн жана резисторлорду, PN түйүндөрүн, көмүлгөн катмарларды ж.

Негизинен арсин, фосфин, фосфор трифториди, фосфор пентафториди, мышьяк трифториди, мышьяк пентафториди,бор трифториди, диборан ж.б.

Адатта, допинг булагы булак шкафында ташуучу газ (мисалы, аргон жана азот) менен аралаштырылат. Аралаштыруудан кийин газ агымы тынымсыз диффузиялык мешке куюлат жана пластинаны курчап турат, пластинанын бетине кошумча заттар жайгаштырылат, андан кийин кремнийге аралашкан металлдарды пайда кылуу үчүн кремний менен реакцияга кирет.

ОютуГаз аралашмасы

Этчинг – бул субстраттын бетинде керектүү сүрөт үлгүсүн алуу үчүн фоторезисттик маскасы бар аймакты сактоо менен субстраттагы кайра иштетүүчү бетти (мисалы, металл пленка, кремний оксиди ж.б.) жок кылуу.

Эттинг ыкмаларына нымдуу химиялык оюу жана кургак химиялык оюу кирет. Кургак химиялык очардоодо колдонулган газ офорттук газ деп аталат.

Эттинг газы, адатта, фторид газы (галогендүү), мисалыкөмүртек тетрафториди, азот трифториди, трифторметан, гексафтороэтан, перфторпропан ж.б.