Эпитаксия (өсүү)Аралаш гаs

Жарым өткөрүүчү өнөр жайда, газ химиялык буу субстраттагы химиялык буу субстратасы боюнча химиялык буу субботациясы боюнча материалдык же бир нече катмарды өстүрүү үчүн колдонулган газ эпиталык газ деп аталат.

Адатта колдонулган кремитон эпиталык газдарында DichloRosilane, кремний тетрохлоридди камтыйт жанаСилейн. Кремиталык силикон чөкмө, кремитальдык оксайд, силикон-ккирддер, силикондук нитриден фильмдер

Химиялык буу буу сактагычы (CVD) аралаш газ

CVD - бул белгилүү элементтерди жана кошумандуулукту калыбына келтирүү ыкмасы, б.а. газ фазалык реакцияларды колдонуу менен, методиканын химиялык реакциялары боюнча айрым элементтерди жана кошулмаларды жайгаштыруу ыкмасы. Тасманын түрүнө жараша, колдонулган химиялык буу буусунун (CVD) газы да башкача.

ДопингАралаш газ

Жарымчыл контролдук шаймандарды жана интеграцияланган схемаларды чыгарууда айрым аралыктар үчүн зарылчылык үчүн материалдарды берүү жана резисторлор, сөөгү, көмүлгөн реперсиялыктар, көмүлгөн бензин өндүрүү үчүн белгилүү бир каршылыкты жаратат. Допинг газ деп аталат.

Негизинен Arsine, Phosphine, фосфор трифлуорид, фосфор Пентафлуорид, Арсеникалык Трифлуорид, Арсений Пентафлуорид,Boron Trifluoride, Диборан ж.б.

Адатта, допинг булагы булак шкафындагы ташуучунун газы (аргон жана азот сыяктуу) менен аралаштырылат. Аралашгандан кийин, газдын агымы ар дайым диффузиялык мешке сайылып, вафли беттик бетине допанттарды курчап, кремнийге көчүрүү үчүн кремнийге киргизүү үчүн кремний менен реакция кылышат.

ЭбегейсизГаз аралашмасы

Сүрөттөрдү, фоторезист маскировкасы бар, субстрат бетиндеги сүрөткө түшүүчү сүрөттү алуу үчүн, фоторезист маскировкасы бар аянтты, фоторезист маскировкасы менен, фоторезист маскировкасы бар, фоторезист маскировкасын сактап калуу, фотосест маскировкасы жок, фоторезист маскировкасы бар, фоторезист маскировкасы бар, фоторезист маскировкасы бар, фотосесист маскировкасы бар.

Эстинг ыкмалары нымдуу химиялык беттерди жана кургак химиялык беттерди камтыйт. Кургак химиялык беттерде колдонулган газ бензин деп аталат.

Адатта, газдын бензин, мисалы, фторид газ (Халиде)Carbon Tetrafluoride, азота трифлуорид, Trifluoromethane, гексаалоароутан, перфлукопан ж.б.