Жарым өткөргүчтүн өнөктөш процессинде вафптардын түптөлүшүнүн салыштырмалуу алдыңкы процесстери бар өнөктөштүк процесстери, дээрлик 50 ар кандай газдардын түрлөрү керек. Газдар көбүнчө жапырт газдарга бөлүнөт жанаатайын газдар.

Микроэлектроника жана жарым өткөрмө тармактарындагы газдарды колдонуу Газаларды колдонуу, жарым өткөргүч процесстердеги көмөкчү процесстердеги маанилүү ролду ойношту, айрыкча, жарым өткөргүч процесстерде кеңири колдонулган. УЛИСИ, TFT-ж. ТФт-лк - микродолбоорлорго, жарым өткөргүч процесстеринин учурдагы продукт процесстери, анын ичинде кургакчылык, ион имплантация, ижарачуу, ижарага берүүчү, ичке кино депрессия ж.б.

Мисалы, көпчүлүк адамдар чиптер кумдан, фоторезист, суюктук, максаттуу материал, атайын газ ж.б. сыяктуу, чип өндүрүү процессин карап, көбүрөөк материалдар керек. Арткы аягы таңгактарды, мисалдарды, шишиктерди, чебер жээкчелерди, байланыштарды ж.б. ар кандай материалдарды ж.б. талап кылат. Электрондук атайын газдар силикон вафлион, андан кийин маскалар жана фоторесттердин артынан, кийинчерээк силикон вафлицарынан кийин өндүрүүчү өндүрүштүк чыгымдардын экинчи чоң материалы.

Газдын тазалыгы компоненттин натыйжалуулугуна жана продукциясынын кирешелүүлүгүнө жана газды камсыз кылуу боюнча чечүүчү таасирин тийгизет жана газ берүүнүн коопсуздугу персоналдын ден-соолугуна жана заводдун ишинин коопсуздугуна байланыштуу. Эмне үчүн газдын тазалыгы процесстин жана кадрларга ушунчалык чоң таасирин тийгизет? Бул апыртылган эмес, бирок газдын коркунучтуу мүнөздөмөлөрү менен аныкталат.

Жарым өткөргүч өнөр жайындагы жалпы газдардын классификациясы

Кадимки газ

Жөнөкөй газды жапырт газ деп аташат: ал өнөр жай газды, 5nден төмөн жана ири өндүрүштүк жана сатуунун көлөмү менен өнөр жай газды билдирет. Аны ар кандай даярдоо ыкмаларына ылайык, абанын бөлүнүү газына жана синтетикалык газга бөлүнүшү мүмкүн. Суутек (h2), азот (N2), кычкылтек (O2), Аргон (A2) ж.б.

Адистик газ

Адистик газ белгилүү бир тармактарда колдонулган өнөр жай газды билдирет жана тазалыкты, ар түрдүүлүккө жана касиеттерге өзгөчө талаптарга ээ. НегизиненSih4, Ph3, B2H6, A8H3,HCL, Cf4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, C2F6, N2O, F2, HF, HB, HBR,SF6… жана башка.

Көңүлдүү газдардын түрлөрү

Атайын газдардын түрлөрү: дат басуучу, уулуу, күйүүчү, күйүү - колдоо, инерттүү ж.б.
Көбүнчө колдонулган жарым өткөргүчтүн газдары төмөнкүдөй классификацияланган:
(i) Коррозия / Токсика:HCL, BF3, WF6, HBR, SIH2CL2, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) Flammable: H2,Ch4,Sih4, Ph3, ASH3, SIH2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO ...
(iii) күйөрылтуу: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inert: n2,CF4, C2F6,C4F8,SF6, CO2,Ne,Kr, Ал ...

Мазминин жарым-жартылай төрөлүүсүнүн жаралуучусунда, атайын газдардын 50гө жакын ар кандай түрлөрү (атайын газдар деп аталат) кычкылдануу, диффузия, чөкмө, чөкмө, фотолитация жана башка процесстер жүздөгөн жери. Мисалы, ION имплантат процессиндеги фосфор жана арсениялык булактар, fке негизделген газдар катарында, CHF3, SF6 жана Halogen Gass CI2, BCI3, HBR, SIH4, NH3, N2O, Sih4, NH3, N2O, F2 / KR / KR / KR / KR

Жогорудагы жактардан баштап, биз көптөгөн жарым-жартылай газдар адам денесине зыян келтиргенин түшүнө алабыз. Тактап айтканда, Сих4 сыяктуу газдардын айрымдары өзүн-өзү унутуп жатышат. Алар агып кетишсе, алар абада кычкылтек менен мамиле кылышат жана өрттөй башташат; жана ASH3 өтө уулуу. Бир аз агып кетүү адамдардын жашоосуна зыян келтириши мүмкүн, андыктан атайын газдарды колдонуу үчүн контролдук тутумунун долбоорунун коопсуздугуна коюлган талаптар өзгөчө чоңураак.

Жарым өткөргүчтөр "үч градуска" баруу үчүн жогорку тазалыктын жогорку газдарын талап кылат

Газ тазалыгы

Газдагы ыпыластыктын атмосферасынын мазмуну, адатта, 99,9999% сыяктуу газ тазалыгынын пайызы катары көрсөтүлөт. Жалпысынан айтканда, электрондук атайын газдардын тазалыгы 5n-6нге жетет жана ал ыпылас атмосферанын мазмунун PPM (Миллионго), PPB (бир бөлүгү) жана PPT (бирден-бир бөлүккө). Жарым өткөргүчтүн электрондук талаасы атайын газдардын тазалыгына жана сапатынын туруктуулугуна эң жогорку талаптарга ээ жана электрондук атайын газдардын тазалыгы жалпысынан 6дан жогору.

Кургак

Газдын же нымдуулуктун из суунун мазмуну, адатта, атмосфералык шүүдүрүм -70 ℃ сыяктуу шүүдүрүмдө айтылат.

Тазалык

Газдагы булгоочу бөлүкчөлөрдүн саны, бөлүкчө бөлүкчөлөрдүн өлчөмү бар бөлүкчө / м3 / м3. Кысылган аба үчүн, адатта, мунай курамына кирген катуу калдыктардын мг / М3-де-мг / м3-бюллетендери бар.