Салыштырмалуу өркүндөтүлгөн өндүрүш процесстери менен жарым өткөргүч пластинкаларын чыгаруучу заводдордо 50гө жакын ар кандай газдар керектелет. Газдар жалпысынан көлөмдүү газдар жана болуп бөлүнөтатайын газдар.

Газдарды микроэлектроника жана жарым өткөргүч өнөр жайларында колдонуу Жарым өткөргүч процесстерде газдарды колдонуу ар дайым маанилүү роль ойноп келген, айрыкча жарым өткөргүч процесстер өнөр жайдын түрдүү тармактарында кеңири колдонулат. ULSI, TFT-LCDден азыркы микроэлектромеханикалык (MEMS) өнөр жайына чейин жарым өткөргүч процесстери продуктуларды өндүрүү процесстери катары колдонулат, анын ичинде кургак оюу, кычкылдануу, ион имплантациялоо, жука пленка коюу ж.б.

Мисалы, микросхемалардын кумдан жасалганын көп адамдар билишет, бирок чипти жасоо процессин карап көрсөк, фоторезист, жылмалоочу суюктук, максаттуу материал, атайын газ ж.б. сыяктуу көбүрөөк материалдар керектелет. Арткы аягы таңгактоо, ошондой эле ар кандай материалдардын субстраттарды, интерпозерлерди, коргошун алкактарын, бириктирүүчү материалдарды ж.б.у.с. талап кылат. Электрондук атайын газдар жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө кремний пластинкаларынан кийинки эң чоң материал, андан кийин маскалар жана фоторезисттер.

Газдын тазалыгы компоненттердин иштешине жана продукциянын чыгышына чечүүчү таасирин тийгизет, ал эми газ менен камсыздоонун коопсуздугу персоналдын ден соолугуна жана фабриканын иштөөсүнүн коопсуздугу менен байланыштуу. Эмне үчүн газдын тазалыгы технологиялык линияга жана кызматкерлерге мынчалык чоң таасирин тийгизет? Бул аша чапкандык эмес, бирок газдын өзүнүн коркунучтуу мүнөздөмөлөрү менен аныкталат.

Жарым өткөргүч өнөр жайындагы жалпы газдардын классификациясы

Кадимки Газ

Жөнөкөй газ, ошондой эле массалык газ деп аталат: ал 5N төмөн тазалык талабы жана ири өндүрүү жана сатуу көлөмү менен өнөр жай газ билдирет. Бул ар кандай даярдоо ыкмалары боюнча аба бөлүү газ жана синтетикалык газ бөлүүгө болот. Суутек (Н2), азот (N2), кычкылтек (О2), аргон (А2) ж.б.;

Атайын газ

Атайын газ белгилүү бир талааларда колдонулуучу жана тазалыгы, сорту жана касиеттери боюнча өзгөчө талаптарга ээ болгон өнөр жай газын билдирет. НегизиненSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… жана башка.

Спициалдык газдардын түрлөрү

Атайын газдардын түрлөрү: коррозиялык, уулуу, тез күйүүчү, күйүүнү колдоочу, инерттүү ж.б.
Көбүнчө колдонулган жарым өткөргүч газдар төмөнкүдөй классификацияланат:
(i) Коррозиялык/уулуу:HCl、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2BCl3…
(ii) күйүүчү: H2,CH4、SiH4、PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO…
(iii) Күйүүчү: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) инерттүү: N2,CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、Ал…

Жарым өткөргүч микросхемаларын өндүрүү процессинде кычкылдануу, диффузия, чөктүрүү, оюу, инъекция, фотолитография жана башка процесстерде 50гө жакын ар кандай атайын газдар (атайын газдар деп аталат) колдонулат жана процесстин жалпы кадамдары жүздөгөндөн ашат. Мисалы, PH3 жана AsH3 иондорду имплантациялоо процессинде фосфор жана мышьяк булагы катары колдонулат, F-негизделген газдар CF4, CHF3, SF6 жана галоген газдары CI2, BCI3, HBr, адатта SiH4, NH3, N2O менен оюу процессинде колдонулат. чөкмө пленка процесси, фотолитография процессинде F2/Kr/Ne, Kr/Ne.

Жогоруда айтылган аспектилерден биз көптөгөн жарым өткөргүч газдардын адам организмине зыяндуу экенин түшүнсөк болот. Тактап айтканда, SiH4 сыяктуу газдардын кээ бирлери өзүнөн өзү күйөт. Алар агып турганда абадагы кычкылтек менен катуу реакцияга кирип, күйө башташат; жана AsH3 өтө уулуу. Кандайдыр бир аз агып кетүү адамдардын өмүрүнө зыян келтириши мүмкүн, ошондуктан атайын газдарды пайдалануу үчүн башкаруу системасынын конструкциясынын коопсуздугуна талаптар өзгөчө жогору.

Жарым өткөргүчтөр "үч градуска" ээ болушу үчүн жогорку тазалыктагы газдарды талап кылат.

Газдын тазалыгы

Газдагы аралашма атмосферанын мазмуну, адатта, газдын тазалыгынын пайызы менен көрсөтүлөт, мисалы, 99,9999%. Жалпысынан алганда, электрондук атайын газдар үчүн тазалык талабы 5N-6N жетет, ошондой эле булганыч атмосфера мазмуну ppm (миллион бир бөлүгү), ppb (миллиард бөлүгү) жана ppt (триллион бир бөлүгү) көлөмү катышы менен көрсөтүлөт. Электрондук жарым өткөргүч талаасында атайын газдардын тазалыгы жана сапаты туруктуулугу үчүн эң жогорку талаптар коюлат, ал эми электрондук атайын газдардын тазалыгы жалпысынан 6Нден жогору.

Кургактык

Газдагы изи суунун мазмуну же нымдуулук, адатта, шүүдүрүм чекити менен көрсөтүлөт, мисалы, атмосфералык шүүдүрүм чекити -70 ℃.

Тазалык

Газдагы булгоочу бөлүкчөлөрдүн саны, бөлүкчөлөрдүн өлчөмү мкм болгон бөлүкчөлөр канча бөлүкчө/М3 менен көрсөтүлөт. Кысылган аба үчүн, адатта, мунайдын курамын камтыган, сөзсүз катуу калдыктардын мг/м3 менен көрсөтүлөт.