Биздин өлкөнүн жарым өткөргүч өнөр жайы жана панель өнөр жайы гүлдөп өнүгүү деңгээлин сактайт. Азот трифруорид, алмашылбаган жана эң ири көлөмдүү электрондук газ катары, панелдерди жана жарым өткөргүчтөрдүн жана жарым өткөргүчтөрдүн өсүшүндө өзгөчө базар аянтына ээ.
Көбүнчө колдонулган фторизмди камтыган атайын электрондук газдар камтылганкүкүрт Hexafluoride (SF6), вольфрам гексафлуорид (WF6),Carbon Tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), азот трифлуорид (NF3), HexafluoOthane (C2F6) жана OctaFlopropane (C3F8). Азот Трифлуорид (NF3) негизинен суутек февриции-фторид-фторид Газ-га газынын жогорку энергиялары үчүн фторизм булагы катары колдонулат. Натыйжалуу бөлүгү (болжол менен 25%) H2-O2 жана F2 ортосундагы реакция энергиясынын (болжол менен 25% га жакыны) Лазер радиациясы менен бошотулушу мүмкүн, ошондуктан ХФ-лазерлер химиялык лазерлердин арасында эң келечектүү лазерлер.
Азот трифруорид - микроэлектроника тармагында мордуу плазма бензин. Силикон жана кремний нтицид үчүн азот трифруорид көмүр кычкыл тетраFluoride менен көмүр кычкыл тетрофлуориддиктен жана кычкылтектин аралашмасына караганда, ставка жана тандалма бар. Айрыкча, интеграцияланган туташтыруу материалдарын 1.5UM, азот тырмактарынын калыңдыгы менен этибарга алууда эң сонун баалоо жана тандалма курстун керсаты жана тандалма бар, ал эми беттелген объекттин бетине калдык. Нанотехнологияны өнүктүрүү жана электроника индустриясынын кеңири масштабды өнүктүрүүсү менен анын талабы күндүз күн сайын көбөйөт.
Фторлуктун ар кандай газ камтыган атайын газ, азот трифлуорид (NF3) базардагы эң ири электрондук атайын газ продуктусу болуп саналат. Бөлмө температурасында фторизмге караганда бир кычкылтекке караганда, кычкылтекке караганда активдүү, ал эми жогорку температурада жеңилирээк.
Азот трифруорид, негизинен, динамикалуу чиптер, жалпак панелдин дисплейлери, оптикалык жипчелер, офтик жипчелер, фотоэльтикалык клеткалар ж.б.
Башка фторлина камтыган электрондук газдар менен салыштырганда, азот тырмактары тез реакция жана натыйжалуулукка ээ иштетүү процесси.
Пост убактысы: дек-26-2024
