Биздин өлкөнүн жарым өткөргүчтөр өнөр жайы жана панелдер өнөр жайы жогорку деңгээлде гүлдөп-өнүгүп келет. Азот трифториди панелдерди жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө жана кайра иштетүүдө алмаштырылгыс жана эң чоң көлөмдөгү атайын электрондук газ катары кеңири рыноктук мейкиндикке ээ.
Көп колдонулган фтор камтыган атайын электрондук газдар төмөнкүлөрдү камтыйткүкүрт гексафториди (SF6), вольфрам гексафториди (WF6),көмүртек тетрафториди (CF4), трифторметан (CHF3), азот трифториди (NF3), гексафторэтан (C2F6) жана октафтоорпропан (C3F8). Азот трифториди (NF3) негизинен суутек фториди-фторид газы жогорку энергиялуу химиялык лазерлер үчүн фтордун булагы катары колдонулат. H2-O2 жана F2 ортосундагы реакция энергиясынын эффективдүү бөлүгү (болжол менен 25%) лазердик нурлануу менен бөлүнүп чыгышы мүмкүн, ошондуктан HF-OF лазерлери химиялык лазерлердин ичинен эң келечектүү лазерлер болуп саналат.
Азот трифториди микроэлектроника өнөр жайында плазмалык оюу үчүн эң сонун газ болуп саналат. Кремнийди жана кремний нитридин оюу үчүн азот трифториди көмүртек тетрафторидине жана көмүртек тетрафториди менен кычкылтектин аралашмасына караганда оюу ылдамдыгы жана селективдүүлүгү жогору жана бетине эч кандай булгануу алып келбейт. Айрыкча, калыңдыгы 1,5 мкмден аз интегралдык микросхема материалдарын оюуда азот трифториди оюу ылдамдыгы жана селективдүүлүгү абдан мыкты, оюлган объекттин бетинде эч кандай калдык калтырбайт жана ошондой эле абдан жакшы тазалоочу каражат болуп саналат. Нанотехнологиянын өнүгүшү жана электроника өнөр жайынын кеңири масштабдуу өнүгүшү менен ага болгон суроо-талап күн сайын өсө берет.
Фтор камтыган атайын газдын бир түрү катары, азот трифториди (NF3) рыноктогу эң ири электрондук атайын газ продуктусу болуп саналат. Ал бөлмө температурасында химиялык жактан инерттүү, кычкылтекке караганда активдүүрөөк, фторго караганда туруктуураак жана жогорку температурада иштетүүгө оңой.
Азот трифториди негизинен плазмалык оюу газы жана реакция камерасын тазалоочу каражат катары колдонулат, жарым өткөргүч чиптер, жалпак панелдүү дисплейлер, оптикалык булалар, фотоэлектрдик клеткалар ж.б. сыяктуу өндүрүш тармактарына ылайыктуу.
Башка фтор камтыган электрондук газдар менен салыштырганда, азот трифториди тез реакция жана жогорку натыйжалуулук сыяктуу артыкчылыктарга ээ, айрыкча кремний нитриди сыяктуу кремний камтыган материалдарды оюуда, ал жогорку оюу ылдамдыгына жана селективдүүлүгүнө ээ, оюлган объекттин бетинде эч кандай калдык калтырбайт, ошондой эле абдан жакшы тазалоочу каражат болуп саналат жана ал бетти булгабайт жана иштетүү процессинин муктаждыктарын канааттандыра алат.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 26-декабры
