Юрдумызыц ярым гечирижи сенагаты ве панелли сенагаты ёкары дережеде есдурмекде. Азот трифториди панелдерди жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө жана кайра иштетүүдө алмаштырылгыс жана эң чоң көлөмдөгү атайын электрондук газ катары кеңири рынок мейкиндигине ээ.
Көбүнчө колдонулган фтор камтыган атайын электрондук газдар киреткүкүрт гексафториди (SF6), вольфрам гексафториди (WF6),көмүртек тетрафториди (CF4), trifluorometan (CHF3), азот trifluoride (NF3), гексафтороэтан (C2F6) жана octafluoropropane (C3F8). Азот trifluoride (NF3) негизинен суутек fluoride-fluoride газ жогорку энергиялуу химиялык лазер үчүн фтор булагы катары колдонулат. H2-O2 жана F2 ортосундагы реакция энергиясынын эффективдүү бөлүгү (болжол менен 25%) лазердик нурлануу аркылуу бөлүнүп чыгышы мүмкүн, ошондуктан HF-OF лазерлери химиялык лазерлердин ичинен эң келечектүү лазер болуп саналат.
Азот trifluoride - микроэлектроника тармагында мыкты плазма оюу газы. Кремнийди жана кремний нитриди менен жабыштыруу үчүн азот trifluoride көмүртек тетрафторидине жана тетрафторид менен кычкылтектин аралашмасына караганда жогорку эткингге ээ жана селективдүүлүккө ээ жана жер бетине эч кандай булганышы жок. Айрыкча интегралдык микросхемалардын жоондугу 1,5умдан аз болгон материалдарын оюп түшүрүүдө азот трифторидинин эң сонун оюу ылдамдыгы жана селективдүүлүгү бар, оюлган объекттин бетинде эч кандай калдык калтырбайт, ошондой эле абдан жакшы тазалоочу каражат болуп саналат. Нанотехнологиянын өнүгүшү жана электроника өнөр жайынын масштабдуу өнүгүшү менен ага болгон суроо-талап күн санап өсөт.
Фтор камтыган атайын газдын бир түрү катары азот trifluoride (NF3) рынокто эң ири электрондук атайын газ продуктусу болуп саналат. Ал бөлмө температурасында химиялык жактан инерттүү, кычкылтекке караганда активдүү, фторго караганда туруктуу жана жогорку температурада иштөөгө оңой.
Азот trifluoride негизинен жарым өткөргүч микросхемалардын, жалпак панелдик дисплейлердин, оптикалык булалардын, фотоэлектрдик клеткалардын ж.
Башка фтор камтыган электрондук газдар менен салыштырганда, азот трифториди тез реакциянын жана жогорку эффективдүүлүктүн артыкчылыктарына ээ, айрыкча кремний нитриди сыяктуу кремний камтыган материалдарды оюп алууда, ал жогорку эритүү ылдамдыгына жана селективдүүлүгүнө ээ, чийилген объекттин бетинде эч кандай калдык калтырбайт, ошондой эле абдан жакшы тазалоочу агент болуп саналат, ошондой эле аны тазалоочу жана тазалоочу эмес. процесс.
Посттун убактысы: 26-декабрь 2024-жыл
