Жалпы фторизмди камтыган атайын электрондук газдар камтылганкүкүрт Hexafluoride (SF6), вольфрам гексафлуорид (WF6),Carbon Tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), азот трифлуорид (NF3), HexafluoOthane (C2F6) жана OctaFlopropane (C3F8).
Нанотехнологияны өнүктүрүү жана электроника индустриясынын кеңири масштабды өнүктүрүүсү менен анын талабы күндүз күн сайын көбөйөт. Азот трифруорид, алмашылбаган жана ири колдонулган атайын электрондук газ катары, панелдерди жана жарым өткөргүчтөрдүн өндүрүшүн өндүрүү жана кайра иштетүүдө эң ири колдонулган атайын электрондук газ катары, базар аянты кеңири колдонулат.
Фтор менен атайын газ камтыган газ катары,Азот Трифлуорид (NF3)базар кубаттуулугу бар электрондук атайын газ продуктусу болуп саналат. Бөлмө температурасында кычкылтекке караганда кычкылтекке караганда химиялык жактан инерцип, фторизмге караганда бир кычкылтекке караганда инерцип, ал эми фторизмге караганда бир кыйла туруктуу. Азот трифруорид негизинен, плазма беттешүү газ жана реакция бөлмөсү катары колдонулат жана жарым өткөргүч чиптер, жалпак панелдин дисплейлеринин, оптикалык панелдер, оптикалык жипчелер, фотоэлектр клеткаларын өндүрүү үчүн ылайыктуу.
Башка фторекторго камтыган электрондук газдар менен салыштыргандаазот трифлуоридтез реакциянын жана жогорку натыйжалуулуктун артыкчылыктары бар. Айрыкча, кремний нтицион сыяктуу кремнийге ээ болгон силикон камтыган материалдарды этигинде, ал бейпилдиктин бетине калдык ставка жана тандалма бар. Ошондой эле бул абдан жакшы тазалоо агент жана кайра иштетүү процессинин муктаждыктарын канааттандыра турган жер бетине булганган эмес.
Пост убактысы: Сентябрь-14-2024
