Фтор камтыган атайын электрондук газдардын курамына төмөнкүлөр киреткүкүрт гексафториди (SF6), вольфрам гексафториди (WF6),көмүртек тетрафториди (CF4), трифторметан (CHF3), азот трифториди (NF3), гексафторэтан (C2F6) жана октафтоорпропан (C3F8).
Нанотехнологиянын өнүгүшү жана электроника өнөр жайынын кеңири масштабда өнүгүшү менен ага болгон суроо-талап күн сайын өсө берет. Панелдерди жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө жана кайра иштетүүдө алмаштырылгыс жана эң көп колдонулган атайын электрондук газ катары азот трифториди кеңири рыноктук мейкиндикке ээ.
Фтор камтыган атайын газдын бир түрү катары,азот трифториди (NF3)- бул эң чоң рыноктук сыйымдуулукка ээ болгон электрондук атайын газ продуктусу. Ал бөлмө температурасында химиялык жактан инерттүү, жогорку температурада кычкылтекке караганда активдүү, фторго караганда туруктуу жана иштетүүгө оңой. Азот трифториди негизинен плазмалык оюу газы жана реакция камерасын тазалоочу каражат катары колдонулат жана жарым өткөргүч чиптерди, жалпак панелдүү дисплейлерди, оптикалык булаларды, фотоэлектрдик элементтерди ж.б. өндүрүү тармактарына ылайыктуу.
Фтор камтыган башка электрондук газдар менен салыштырганда,азот трифторидитез реакция жана жогорку натыйжалуулук сыяктуу артыкчылыктарга ээ. Айрыкча, кремний нитриди сыяктуу кремний камтыган материалдарды оюуда, ал жогорку оюу ылдамдыгына жана селективдүүлүгүнө ээ, оюлган объекттин бетинде эч кандай калдык калтырбайт. Ошондой эле ал абдан жакшы тазалоочу каражат болуп саналат жана бетти булгоочу эмес, бул иштетүү процессинин муктаждыктарын канааттандыра алат.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 14-сентябры
