Кадимки фтор камтыган атайын электрондук газдар киреткүкүрт гексафториди (SF6), вольфрам гексафториди (WF6),көмүртек тетрафториди (CF4), trifluorometan (CHF3), азот trifluoride (NF3), гексафтороэтан (C2F6) жана octafluoropropane (C3F8).
Нанотехнологиянын өнүгүшү жана электроника өнөр жайынын масштабдуу өнүгүшү менен ага болгон суроо-талап күн санап өсөт. Азот трифториди панелдерди жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө жана кайра иштетүүдө алмаштырылгыс жана эң чоң колдонулган атайын электрондук газ катары кеңири рынок мейкиндигине ээ.
Фтор камтыган атайын газдын бир түрү катары,азот трифториди (NF3)ири базар сыйымдуулугу менен электрондук атайын газ продукт болуп саналат. Ал бөлмө температурасында химиялык жактан инерттүү, жогорку температурада кычкылтекке караганда активдүү, фторга караганда туруктуу жана иштетүүгө оңой. Азот trifluoride, негизинен, плазманы тешүүчү газ жана реакция камерасын тазалоочу агент катары колдонулат жана жарым өткөргүч микросхемалардын, жалпак панелдик дисплейлердин, оптикалык булалардын, фотоэлектрдик клеткалардын ж.б.
Башка фтор камтыган электрондук газдар менен салыштырганда,азот трифторидитез реакция жана жогорку натыйжалуулугун артыкчылыктары бар. Айрыкча кремний нитриди сыяктуу кремнийди камтыган материалдарды офорттоодо ал оюп түшүрүлгөн объекттин бетинде эч кандай калдык калтырбай, жогорку оюу ылдамдыгына жана селективдүүлүгүнө ээ. Ал ошондой эле абдан жакшы тазалоочу агент болуп саналат жана кайра иштетүү жараянынын муктаждыктарын канааттандыра алат бетине эч кандай булганышы бар.
Посттун убактысы: 2024-жылдын 14-сентябрына чейин
