Электрондукатайын газдаратайын газдардын маанилүү тармагы болуп саналат. Алар жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн дээрлик ар бир звеносуна кирип, өтө ири масштабдуу интегралдык микросхемалар, жалпак панелдүү дисплей түзүлүштөрү жана күн батареялары сыяктуу электрондук өнөр жайларды өндүрүү үчүн алмаштыргыс чийки зат болуп саналат.

Жарым өткөргүчтөр технологиясында фтор камтыган газдар кеңири колдонулат. Учурда дүйнөлүк электрондук газ рыногунда фтор камтыган электрондук газдар жалпы көлөмдүн болжол менен 30% түзөт. Фтор камтыган электрондук газдар электрондук маалымат материалдары жаатындагы атайын электрондук газдардын маанилүү компоненти болуп саналат. Алар негизинен тазалоочу жана оюучу агенттер катары колдонулат, ошондой эле кошулмалар, пленка түзүүчү материалдар ж.б. катары колдонулушу мүмкүн. Бул макалада автор сизди фтор камтыган кеңири таралган газдарды түшүнүүгө жардам берет.

Төмөндө кеңири колдонулган фтор камтыган газдар келтирилген.

Азот трифториди (NF3): чөкмөлөрдү тазалоо жана кетирүү үчүн колдонулган газ, адатта реакция камераларын жана жабдуулардын беттерин тазалоо үчүн колдонулат.

Күкүрт гексафториди (SF6)Фторлоочу агент кычкыл чөктүрүү процесстеринде жана изоляциялык чөйрөнү толтуруу үчүн изоляциялык газ катары колдонулат.

Суутек фториди (HF): Кремнийдин бетинен оксиддерди кетирүү жана кремнийди жана башка материалдарды оюу үчүн эриткич катары колдонулат.

Азот фториди (NF): Кремний нитриди (SiN) жана алюминий нитриди (AlN) сыяктуу материалдарды оюп кесүү үчүн колдонулат.

Трифторметан (CHF3) жанатетрафторметан (CF4): Кремний фториди жана алюминий фториди сыяктуу фтор материалдарын оюп алуу үчүн колдонулат.

Бирок, фтор камтыган газдардын уулуулугу, коррозияга туруктуулугу жана тез күйүүчүлүгү сыяктуу белгилүү бир коркунучтары бар.

Уулуулугу

Фтор камтыган кээ бир газдар, мисалы, суутек фториди (HF) уулуу, анын буусу терини жана дем алуу жолдорун катуу дүүлүктүрөт жана адамдын ден соолугуна зыяндуу.

коррозиялык

Суутек фториди жана кээ бир фториддер өтө коррозиялык касиетке ээ жана териге, көзгө жана дем алуу жолдоруна олуттуу зыян келтириши мүмкүн.

Тез күйүүчүлүк

Айрым фториддер тез күйөт жана абадагы кычкылтек же суу менен реакцияга кирип, катуу жылуулукту жана уулуу газдарды бөлүп чыгарат, бул өрткө же жарылууга алып келиши мүмкүн.

Жогорку басым коркунучу

Айрым фтор кошулган газдар жогорку басым астында жарылуучу касиетке ээ жана колдонулганда жана сакталганда өзгөчө этияттыкты талап кылат.

Айлана-чөйрөгө тийгизген таасири

Фтор камтыган газдардын атмосфералык жашоо узактыгы жана ЖЖК маанилери жогору, алар атмосферанын озон катмарына кыйратуучу таасирин тийгизип, глобалдык жылуулукка жана айлана-чөйрөнүн булганышына алып келиши мүмкүн.

Электроника сыяктуу өнүгүп келе жаткан тармактарда газдарды колдонуу тереңдеп, өнөр жай газдарына болгон жаңы суроо-талаптын көп болушун шарттайт. Алдыдагы бир нече жылда Кытайдын материктик аймагында жарым өткөргүчтөр жана дисплей панелдери сыяктуу негизги электрондук компоненттердин жаңы өндүрүш кубаттуулугунун көптүгүнө, ошондой эле электрондук химиялык материалдарды импортту алмаштырууга болгон күчтүү суроо-талаптын негизинде ата мекендик электрондук газ өнөр жайы жогорку өсүш темпине ээ болот.