Электрондукатайын газдаратайын газдардын маанилүү тармагы болуп саналат. Алар жарым өткөргүч өндүрүшүнүн дээрлик бардык звенолоруна кирет жана ультра масштабдуу интегралдык микросхемалар, жалпак панелдик дисплей приборлору жана күн батареялары сыяктуу электрондук өнөр жайларды өндүрүү үчүн алмаштырылгыс сырье болуп саналат.

Жарым өткөргүчтөр технологиясында фтор камтыган газдар кеңири колдонулат. Учурда дүйнөлүк электрондук газ рыногунда фтор камтыган электрондук газдар жалпы көлөмдүн 30%ке жакынын түзөт. Фтор камтыган электрондук газдар электрондук маалымат материалдары тармагында атайын электрондук газдардын маанилүү компоненти болуп саналат. Алар, негизинен, тазалоочу агенттер жана оюу агенттери катары колдонулат, ошондой эле кошумча заттар, пленка түзүүчү материалдар ж.б. катары колдонулушу мүмкүн. Бул макалада автор сизди жалпы фтор камтыган газдарды түшүнүүгө алып барат.

Төмөндө көбүнчө фтор камтыган газдар колдонулат

Азот трифториди (NF3): Демейде реакция камераларын жана жабдуулардын беттерин тазалоо үчүн колдонулуучу кендерди тазалоо жана жок кылуу үчүн колдонулган газ.

Күкүрт гексафториди (SF6): Оксидди жайгаштыруу процесстеринде жана изоляциялоочу каражатты толтуруу үчүн изоляциялоочу газ катары колдонулуучу фторлоочу агент.

Суутек фториди (HF): кремний бетинен оксиддерди жок кылуу үчүн жана кремнийди жана башка материалдарды оюп түшүрүү үчүн колдонулат.

Азот фториди (NF): кремний нитриди (SiN) жана алюминий нитриди (AlN) сыяктуу материалдарды иштетүү үчүн колдонулат.

Трифторметан (CHF3) жанатетрафторметан (CF4): Кремний фториди жана алюминий фториди сыяктуу фториддик материалдарды иштетүү үчүн колдонулат.

Бирок, фтор камтыган газдар кээ бир коркунучтарга ээ, анын ичинде уулуулугу, жегичтиги жана күйүүчүлүгү.

Уулуулугу

Кээ бир фтор камтыган газдар уулуу, мисалы, фториди суутек (HF), анын буусу терини жана дем алуу жолдорун абдан дүүлүктүрүүчү жана адамдын ден соолугуна зыян келтирет.

Коррозия

Суутек фториди жана кээ бир фториддер өтө коррозияга дуушар болуп, териге, көзгө жана дем алуу жолдоруна олуттуу зыян келтириши мүмкүн.

Тутануучулук

Кээ бир фториддер күйүүчү жана абадагы кычкылтек же суу менен реакцияга кирип, катуу жылуулукту жана уулуу газдарды бөлүп чыгарышат, бул өрт же жарылууга алып келиши мүмкүн.

Жогорку басым коркунучу

Кээ бир фторлуу газдар жогорку басымда жарылуучу болуп саналат жана аларды колдонууда жана сактоодо өзгөчө кылдаттык талап кылынат.

Айлана-чөйрөгө тийгизген таасири

Фтор камтыган газдар атмосферанын озон катмарына кыйратуучу таасирин тийгизген жана глобалдык жылуулукка жана айлана-чөйрөнүн булганышына алып келиши мүмкүн болгон жогорку атмосфералык жашоо мөөнөтүнө жана GWP баалуулуктарына ээ.

Газдарды электроника сыяктуу өнүгүп келе жаткан тармактарда колдонуу тереңдетип, өнөр жай газдарына жаңы суроо-талапты пайда кылууда. Жакынкы бир нече жыл ичинде материктик Кытайда жарым өткөргүчтөр жана дисплей панелдери сыяктуу негизги электрондук компоненттердин жаңы өндүрүштүк кубаттуулуктарынын чоң көлөмүнө, ошондой эле электрондук химиялык материалдарды импорттоого болгон күчтүү суроо-талапка таянып, ата мекендик электрондук газ өнөр жайы ишке киришет. жогорку өсүш темпи.