Кургак жугуштуу технология негизги процесстердин бири. Кургак бензинз - бул жарым өткөргүч өндүрүштүк өндүрүшүндөгү жана плазма жепкич үчүн маанилүү газ булагы. Анын көрсөткүчү акыркы продукциянын сапатына жана аткарылышына түздөн-түз таасир этет. Бул макалада кургакчылык процесстериндеги кеңири колдонулган газдарды көбүнчө колдонушат.
Флорина негизделген газдар: мисалыCarbon Tetrafluoride (CF4), гексалуорооутан (C2F6), Trifluorometane (CHF3) жана PerfluOropropane (C3F8). Бул газдар кремний жана кремний кошулмаларды жеп жатканда, бул газдар учуучу фториддерди натыйжалуу өндүрө алышат, ошентип, материалды алып салууга жетишет.
Хлор негизделген газдар: мисалы, хлор сыяктуу (CL2),BON TRICHLOLOIDE (BCL3)жана кремний тетрахлорид (SICL4). Хлорго негизделген газдар эбегейсиз жүрүү процессинде хлорид иондорду бере алышат, бул орнотуу ылдамдыгын жана тандалууну жакшыртууга жардам берет.
Бромдин газдары: мисалы, бром (br2) жана бромида (IBR) сыяктуу. Броминге негизделген газдар белгилүү бир процесстерде, айрыкча кремний карбид сыяктуу катуу материалдарды жеп жатканда, өркүндөтүлүүдө.
Азотка негизделген жана кычкылтекке негизделген газдар: мисалы азот трифлуорид (NF3) жана кычкылтек (O2) сыяктуу. Адатта, бул газдар реакция шарттарын этчингдин тандалгандыгын жана көрсөтмөлөрдү өркүндөтүү үчүн реакция шарттарын жөндөө үчүн колдонулат.
Бул газдар плазма беттешүү учурунда физикалык беттешүү жана химиялык реакциялардын айкалышы аркылуу материалдык беттик беттештин так аткарылышына жетишти. Жүрүп жаткан газды тандоо, бейпилдиктин түрүнө көз каранды, жигердүүлүктүн тандалма талаптары жана керектүү деңгээлде.
Пост убактысы: FEB-08-2025
