Кургак оюу технологиясы негизги процесстердин бири болуп саналат. Кургак офорттук газ жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө негизги материал жана плазманы иштетүү үчүн маанилүү газ булагы болуп саналат. Анын аткарылышы акыркы продукциянын сапатына жана өндүрүмдүүлүгүнө түздөн-түз таасирин тийгизет. Бул макалада, негизинен, кургак оюп процессинде кеңири колдонулуучу газдар кандай болору айтылат.
Фтор негизиндеги газдар: мисалыкөмүртек тетрафториди (CF4), гексафтороэтан (C2F6), trifluorometan (CHF3) жана перфторпропан (C3F8). Бул газдар кремний жана кремний кошулмаларын оюп жатканда учуучу фториддерди эффективдүү жаратып, ошону менен материалды жок кылууга жетишет.
Хлор негизиндеги газдар: мисалы, хлор (Cl2),бор трихлориди (BCl3)жана кремний тетрахлориди (SiCl4). Хлор негизиндеги газдар стих процессинде хлорид иондорун камсыздай алат, бул оюу ылдамдыгын жана тандоону жакшыртууга жардам берет.
Бром негизиндеги газдар: бром (Br2) жана бром йодид (IBr) сыяктуу. Бромдун негизиндеги газдар, өзгөчө, кремний карбиди сыяктуу катуу материалдарды оюп жатканда, белгилүү бир оюу процесстеринде жакшыраак иштетүүнү камсыздай алат.
Азоттун негизиндеги жана кычкылтектин негизиндеги газдар: азот трифториди (NF3) жана кычкылтек (O2) сыяктуу. Бул газдар, адатта, оюп алуу процессиндеги реакциянын шарттарын тууралоо үчүн, оюптун селективдүүлүгүн жана багыттуулугун жакшыртуу үчүн колдонулат.
Бул газдар физикалык чачыратуу жана плазмадан лактоо учурунда химиялык реакциялардын айкалышы аркылуу материалдын бетинин так чийилишине жетишет. Офорттун газын тандоо оюла турган материалдын түрүнө, офорттун тандалма талаптарына жана каалаган оюу ылдамдыгына жараша болот.
Посттун убактысы: 08-февраль 2025-ж
